近赤外線ハロゲンヒーター 

 

ハロゲンランプが放射する光を熱として利用したのがハロゲンヒータです。 ハロゲンヒータから放出されるエネルギーの８０％以上が目に見えない赤外線（熱）です。熱源として非常に高効率なエネルギー源です。また、ハロゲンヒータは、立ち上がり、立下りのレスポンスが非常に早く様々な用途にご利用になれます。

・半導体
100℃の低温域から1200℃の高温域まで幅広い温度域に対応できます。各熱処理プロセスの標準熱源として幅広く採用されています。

・ＦＰＤ
「高速昇降温と非接触加熱」が可能で、さらに基板大型化に対応するため、最長2.5Mまで、長尺化を可能にしました。

・ソーラーパネル
ハロゲンランプヒータによる「非接触且つ高速昇降温」は、焼成炉、CVDなどの熱処理装置において標準熱源として搭載されています。

・樹脂、成形
プリフォームのような透過性のある材料を加熱する場合は、ハロゲンランプヒータによる表裏均一な光加熱が有効です。